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En cas de fuite du réservoir de chlorosilane , le risque est beaucoup plus élevé que le risque de fuite du pipeline de procédé.En raison de sa grande capacité de stockage, en cas de fuite, si elle n'est pas bloquée à temps, l'impact continuera d'augmenter.Pour le refroidissement, la zone du réservoir est généralement remplie d'eau.Les fuites de chlorosilane réagissent avec l'eau pour produire des HCI toxiques qui se répandent dans tout le pays, ce qui rend les opérations de sauvetage difficiles.